1. 구조
2. 기능
-. 피착제에 물분해 필름 접착(라미네이션)
-. 스크라이버, 다이싱 공정 후 물로 세척
-. FILM 접착제는 물에 분해 되어 별도의 박리공정 없음
-. 제품 이동, 작업간 스크래치, 이물 오염 방지 기능
일반Type다이싱 공정중 웨이퍼 보호기능/물로 세척시 FILM 분해됨 별도의 박리 공정 없음
UV Type다이싱 공정중 웨이퍼 보호기능/UV 조사에도 웨이퍼 보호기능/믈로 세척시 FILM 분해됨 별도의 박리 공정 없음
1. 조건
2. 결과
3. 세정 후 평가
1) 세정
2) 세정 후 결과
1. 조건
2, 결과
1. Process에 따른 절차로 진행
가공공정 후에도 물분해 FILM은 남아 있음
세정을 통한 장여물 없음 확인
